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硅片清洗废水处理案例|硅片清洗废水处理方法

该厂为8厘米晶圆生产加工线生活配套的超注射用水装置,每星期造成含硅废水处置工艺技术150吨。废水处置工艺技术中虽无巨资属,但硅分量高易结渣,且电阻值率需可达18MΩ·cm才能够中水回用。和原有处置工艺技术是没办法实现新发布的《智能电子行业水空气废弃物直接排放量条件》(GB39731-2020)很大直接排放量限制值。 生活污水部分亮点 具体环境破坏物 :固体硅(200-300mg/L)、颗粒肥料硅(粒度0.1-1μm) 唯一性标准要求 :TOC<10μg/L,硼含水量<5μg/L 地表水功能 :低电阻率(<50μS/cm)但硅有机物形态特征繁杂 补救技艺具体流程 的创新使用"梯级膜拆分+电去阴阳离子"搭配新工艺: 微滤预净化处理 :1μm瓷砖膜屏蔽大粒状硅,通量形成80LMH 亚铁离子传递树酯 :D201大孔聚酯树脂确定性吸附性硅酸团伙 三级RO软件系统 :独一段出售率60%,最后段主要包括高脱硼膜组件 EDI电去阴离子 :直流电压导热系数2A/m²,一直消除残存阳离子 紫外光除菌 :254nm红外光谱线使用量40mJ/cm² 能力工作亮点 开发建设专业化阻硅剂(设计胺类包覆物),延长膜污染源过渡期3倍 EDI输出模块全新流道设汁,硅消除率优化至99.8% 上线硅了解仪(校正区间0.1-500μg/L)确保优质管理 启动功效 经承包方论文检测: 总硅从280mg/L下降0.05mg/L 硼浓度从8μg/L降低0.3μg/L 体统收售率从原40%上升至68% 膜改换时期提升至5年,年操作投资成本降低35%

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