某半导体行业电源芯片制做厂在晶圆工艺历程中,选用硅烷确定硅概念生長,氮氧化合物干洗塔造成高溶液浓度含硅废液。废液具备着pH跌涨大(2-11)、硅成分高的共同点,一般外理形式易显示硅垢短路大问题。
污废水 营养成分及渠道
电镀废水常见有效成分为:
熔化分解性硅酸盐
:SiO₂密度达1000-1500mg/L
硫酸钠/氢阳极氧化钠
:干洗塔酸性干洗液残余物
粉末硅
:纳米技术级SiO₂电解质溶液
痕量砷
:食材沉淀物进入
清理生产技术环节
科学创新所采用"二级结合+膜滤水+减压蒸馏晶体"方法:
第一中合
:用CaO调接pH至4-5,转为硅酸钙沉淀出的,硅我们要除率60%。
两级结合
:加Na₂CO₃将pH升降至9,进的一步沉淀出的剩余时间硅,串并联用镁剂除砷。
反渗透装置设备
:0.02μm瓷器膜油烟净化器奈米级硅颗粒肥料,通量相对稳定在80LMH。
MVR蒸馏器
:精炼高盐工业废水,析出出Na₂SO₄副產品,水中水回用率超90%。
终究结果
总硅从1500mg/L降落到5mg/L左右
砷含碳量从0.8mg/L下降0.01mg/L
系統无积垢行驶不低于2年
每一年的环保再生资源回收浓盐酸钠晶状体约800吨