西安某半导体电源芯片电源芯片研发厂,晶圆制作加工流程中导致含硅、氟的特色焦化废水处置方法步骤,设置除理人数1200吨/日。焦化废水处置方法步骤部分繁多,包含的纳米级级硅粒状及氢佛酸,中国传统除理方法步骤难易不合格。
污废水 有效成分及渠道
其主要破坏物
:胶体溶液硅(100-500nm粒级)、氟阴阳离子(200-300mg/L)、异丙醇
原因加工过程
:晶圆刻蚀焦化化工废水(45%)、CMP物理机诫cnc精密机械加工焦化化工废水(40%)、设备消毒水(15%)
鑫霖环保技术步骤
创新性主要包括"化学式沉淀物+防化膜剥离"高技术路线地图:
钙盐放置
:添加氯化钙删去氟阴离子(绘制CaF2悠长岁月中)
斜管沉淀池生理反应
:符合斜管沉淀池剂保证 橡胶胶体部分硅脱稳
管式微滤
:0.1μm钻孔大小膜公款私存微细顆粒
反融于平台
:脱盐率>98%,收售率75%
减压蒸馏析出
:浓水段进行氟化物零释放
最后视觉效果
氟化物密度:<8mg/L(不低于祖国1阶段标准单位10mg/L)
硅成分:<5mg/L
土地资源的回收率:70%采用放置圆形逆流式冷却塔补充水分
危险废弃物减量化:多效蒸发残余物量较过去的工序减轻60%